尽管林晓的话语中,没有提到他们的总发电量是包括了EUV光刻机和DUV光刻机的共同发电量,但是饶是如此,X光刻机一天3000度的耗电量人,仍然是他们所急需的,只要有了X光刻机,他们每年估计都能够省下数亿美元的电费,而这算进去,可就相当于他们的纯利润了。
不过,除了上面两个优点之外,显然还有其他优点,“除了上述两点之外,我相信大家应该也很容易猜到X光刻机的第三个优点,那就是它所选用的X光波长,仅为3.56nm!”
“我相信,在座中来自芯片代工厂的朋友们,应该很清楚这样的波长有什么用!”
底下来自代工厂的人们都点了点头。
波长短,也就意味着能够用更少的步骤来制造芯片。
像5nm的芯片,需要两台EUV光刻机组成生产线进行生产,因为EUV光源为13.5nm,不能做到一次曝光就造出5nm制程的芯片,所以需要经过两次曝光才行。
而X光刻机的3.56nmX光源,如果要生产5nm芯片,仅需要一台光刻机组成生产线就行了,同样,这也意味着单片芯片的生产所需要经过的工序也就更短,同样,耗电量也就更低,降低的成本也就更多。